超純水設(shè)備是指制取各行業(yè)所需要的超純水的水處理設(shè)備，以水處理預(yù)處理、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)、超純化處理和后級處理等工藝為核心技術(shù)。一般用于太陽能光伏、電子半導(dǎo)體、線路板電路板、高科技精細(xì)產(chǎn)品等行業(yè)。它的產(chǎn)水水質(zhì)有如下要求：將水中的電解質(zhì)幾乎*去除（電阻率>15MΩNaN）、水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度、超純水水質(zhì)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩNaN、15MΩNaN、10MΩNaN、2MΩNaN、0.5MΩNaN，以區(qū)分不同水質(zhì)。

超純水處理設(shè)備的工藝流程大致分成以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。